1-甲基-1-环己基异丁烯酸酯供应 76392-14-8 半导体光刻可发小包装-武汉贝乐叶生物医药科技有限公司

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1-甲基-1-环己基异丁烯酸酯供应 76392-14-8 半导体光刻可发小包装

品牌：贝乐叶

产地：湖北

型号：25kg

货号：00564

纯度：高纯度

cas：76392-14-8

价格： ￥14/千克
发布日期： 2026-08-20
更新日期： 2026-08-27

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产地	湖北
货号	00564
品牌	贝乐叶
用途	工业
包装规格	25kg
CAS编号	76392-14-8
纯度	高纯度%
别名	1-甲基-1-环己基异丁烯酸酯;1-甲基环己基甲基丙烯酸酯;1-甲基丙烯酸环己酯;1-甲基-1-环己醇甲基丙烯酸酯;甲基丙烯酸1-甲基Chemicalbook环己酯;1-甲基-1-环己基甲基丙烯酸酯;100G/1KG;PURITY99%MINTOTALMETALCONTENT20PPBMAX.
包装	25kg桶
级别	工业级

无色透明油状液体，ArF 光刻胶酸敏叔酯单体；几乎不溶于水，可溶于甲苯、二氯甲烷、THF、乙酸乙酯；密度 0.95 g/cm³，闪点 86℃；商品一般添加 MEHQ 阻聚剂；分子带有酸可裂解叔酯结构，曝光后遇酸脱保护释放羧基；环己脂环结构提升树脂耐热、耐干法刻蚀性能；受热、光照、引发剂条件下易自由基聚合。

合成路线

1‑甲基‑1‑环己醇与甲基丙烯酰氯在缚酸剂存在下酯化；或者甲基丙烯酸酯交换工艺；水洗除盐，减压精馏得到电子级光刻单体成品。

应用领域

半导体光刻：193nm ArF 化学放大光刻胶树脂共聚单体，提供酸解离位点，脂环结构改善聚合物耐刻蚀与热稳定性，用于半导体光刻基体树脂，也用于 EUV 配套树脂研发。
高分子材料：制备高 Tg 丙烯酸树脂、光学涂料、特种胶粘剂，调节聚合物刚性。
科研：功能高分子合成砌块；不属于日化、涂料大宗工业原料，以电子化学品为主。