白色至类白色结晶固体，叔丁氧碳酸保护苯乙烯类光刻单体；熔点 27‑29℃；不溶于水，可溶于甲苯、二氯甲烷、THF、乙酸乙酯；商品一般添加 TBC 阻聚剂；分子带有酸可裂解碳酸叔丁酯基团，曝光产酸条件下脱 BOC 保护，释放酚羟基；乙烯基可自由基聚合；受热、光照易发生自聚；遇强酸容易分解。

合成路线

4‑羟基苯乙烯与二碳酸二叔丁酯，在有机碱催化下发生酚羟基的 BOC 保护反应；反应结束水洗除盐，减压精馏 / 重结晶提纯，得到电子级光刻单体成品。

应用领域

1. 半导体光刻：KrF 光刻胶共聚单体，酸敏碳酸叔丁酯保护基团，聚合后酸解脱保护生成酚羟基，用于化学放大正胶树脂，也用于 LB 超薄膜光刻胶科研开发。
2. 高分子合成：制备酚基功能聚合物，用于固相合成载体、感光高分子材料。
3. 科研：功能高分子合成砌块；电子化学品，不属于日化、涂料大宗工业原料。